8月20日，韩国政府和业界消息称，日本政府批准了JSR按照订单向三星电子出口EUV光刻胶的申请。日本政府在8月7日批准信越化学工业对三星电子的出口后，当日又批准JSR的出口申请，使三星电子获得了可以使用九个月的7纳米以下超精细半导体工程所需EUV光刻胶产品。
日本8月7日修改出口对象国分类标准，将韩国从传统的白名单国家(安保友好国)中删除，列入在出口可能被用作军事用途的产品时需要个别申请许可的B类国家。因此，分析认为，日本这次签发出口许可，是为了在属于B类的韩国和属于C类的台湾之间保持公平。
台湾被日本列为C类国家和地区，大部分可以用作军事用途的产品都需要申请个别许可。但台湾的代工企业台积电可以顺利从日本进口EUV光刻胶。
半导体业界相关人士说，“日本如果向C类地区出口产品，而拒绝批准向属于B类国家的韩国出口，就会出现自我矛盾的情况”，“为了让人们相信日本对韩国采取出口限制措施不是经济报复，而是为了完善战略物资管理制度，日本不得不偶尔向韩国签发出口许可”。韩国政治圈则有看法认为，“外交部长会谈和GSOMIA延期时限将近，日本此举只是为了削弱韩国的反击筹码”。
此外，日本政府这次批准对韩出口，也是为了阻止在政府公布对韩出口限制措施后本国材料企业纷纷打算迁出日本的动向。日本政府宣布限制对韩出口几种产品后，生产高纯度氟化氢和EUV光刻胶的日本企业为保持销量，纷纷打算通过设在海外的工厂迂回向韩国出口限制产品。
事实上，Morita化学公司已经增加了中国浙江工厂的产量，生产EUV光刻胶的JSR和Tokyo Ohka工业公司也纷纷增加了比利时和韩国工厂的产量。半导体业界相关人士说，“信越化学工业第一个获得出口许可，是因为该公司没有海外工厂，销售额最容易受到影响”，“如果本国企业纷纷将生产据点转移到海外，将对安倍政府构成巨大压力”。
日本政府以一定的间隔先后两次批准对韩出口EUV光刻胶后，人们普遍关注日本政府是否会接着批准高纯度氟化氢的出口。半导体行业相关人士说，“日本政府曾直接提到氟化氢被用于军事用途的可能性，预计不会这么快签发许可”。
不过，三星电子和SK海力士已经与韩国国内企业等合作推动高纯度氟化氢的国产化，并在进行相关的工程流水线测试。因此，即便日本批准对韩出口，两家公司可能也会使用一定比例的国产产品，日本的市场份额必然会有所下降。
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