韩SK首次实现氟化氢量产韩加快推进原材料国产化
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韩SK首次实现氟化氢量产韩加快推进原材料国产化
  • 金斗荣 记者
  • 上传 2020.06.22 15:11
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SK materials公司启动了氟化氢的批量生产。

韩国SK集团启动了氟化氢气体的批量生产。

SK集团6月17日宣布,集团旗下专业生产半导体材料的子公司SK Materials已经开始批量生产超高纯度(99.999%)的氟化氢(HF)气体。超高纯度的氟化氢气体被日本列入限制对韩出口的材料清单,是半导体生产过程中必不可少的清洗气体。随着半导体工艺越来越精细,韩国对这种气体的需求日渐增加,但这一材料的供应却100%依赖国外进口。

SK Materials公司去年成功研发出试验品,并在庆尚北道荣州工厂建造产能15吨的生产线,计划2023年把这一材料的国产供货比例提高到70%左右。SK Materials最近还开始着手研发高附加价值的硬掩模层(SOC)和氟化氩光刻胶(ArF PR)材料。目前韩国90%的氟化氩光刻胶依赖国外进口。SK Materials公司6月15日召开董事会决定明年投资400亿韩元建成光刻胶工厂,从2022年开始每年生产5万加仑光刻胶。工厂拟建在世宗市附近。
  
SK Silicon公司去年收购了美国杜邦公司碳化硅晶圆(SiC) 部门。碳化硅晶圆是生产电动汽车的新一代必须材料,市场一直掌握在美国和欧洲少数企业手中。
 
为实现这些材料的国产化,SK集团计划利用本公司已经掌握的资源,与韩国国内的中小企业合作,共同增强韩国半导体生态。SK集团旗下的材料子公司将为中小型供货商提炼高纯度气体等高附加价值产品提供必要的技术和经验。

SK Materials去年11月在荣州总部成立负责研发(R&D)的“综合分析中心”,已经着手与韩国标准科学院等机构一起开展中期分析服务。

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