2022年12月04日 (周日)
SK海力士:半导体氖气成功实现国产化,2024年有望完全取代进口
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SK海力士:半导体氖气成功实现国产化,2024年有望完全取代进口
  • 李东炫 记者
  • 上传 2022.10.06 13:54
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图为SK海力士存储半导体生产车间。【照片来源:SK海力士】
图为SK海力士存储半导体生产车间。【照片来源:SK海力士】

SK海力士5日表示,韩国业界首次成功实现了半导体必需原料“氖(Ne)气”国产化,且其引入到工艺的比重扩大到了40%。

到目前为止,韩国半导体企业的氖气供应都依靠进口。但是在过去的几年里,随着海外主要生产地区的局势不稳定,氖气价格出现了要暴涨的迹象。 为了提前消除供需不安因素,SK海力士与半导体用气体制造企业TEMC、浦项钢铁等合作,成功实现了氖气国产化。

氖是空气中仅存在0.00182%的稀有资源。如果想对其进行采集,就要投资大规模空气分离装置等,由此产生大额初期投资费用。SK海力士方面介绍称,“我们与多家合作企业一起开发出了利用现有设备、以低成本生产氖气的技术”,“将此技术引入到半导体工艺后,大幅降低了购买费用”。

氖是半导体光刻工艺(照射紫外线制造微电路图案的半导体工艺)中使用的准分子激光气体的主材料。产生光刻紫外线的准分子激光气体成分的95%是氖,因此在半导体工艺中氖被认为是必需原料。

SK海力士从今年4月开始,在光刻工艺中引进了韩产氖气。到目前为止,韩产代替了总使用量的40%。SK海力士计划到2024年为止全部使用韩产氖气。此外,SK海力士还计划到明年6月为止,将蚀刻工艺(削去刻在晶片上的电路外不必要部分的工艺)中使用的氪(Kr)和氙(Xe)气体的国产化。

SK海力士FAB原材料采购担当副社长尹洪成(音)表示,“此次实现氖气国产化并将其用于工艺,是在不稳定的国际供应状况下,与国内合作公司合作,为供需稳定化做出贡献的事例”,“计划通过持续合作,加强半导体原材料供应链”。

李东炫 记者
译 | 亓立男 校 | 李佳欣 责任编辑 | 刘尚哲 查看其它新闻
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